■ 可進(jìn)行孔內(nèi)膠渣去除、表面清潔、粗化、活化等
應(yīng)用領(lǐng)域 
     ★ PI表面粗化及清潔
     ★ PCB孔內(nèi)除膠、表面清潔
     ★ FPC孔內(nèi)除膠、表面清潔
     ★ 電子材料表面粗化、清潔
     ★ COVERLY表面粗化、清潔
產(chǎn)品特點(diǎn)
     ★ 特殊氣體進(jìn)氣、擴(kuò)散及抽氣系統(tǒng)設(shè)計(jì)
     ★ 合理的等離子反應(yīng)空間,處理之均勻性佳
     ★ 多種制程氣體的使用
     ★ 全自動(dòng)簡(jiǎn)單易操作設(shè)備穩(wěn)定性高,易維護(hù)
     ★可根據(jù)客戶需求定制專用規(guī)格機(jī)臺(tái)
產(chǎn)品規(guī)格
設(shè)備尺寸/Machine Size  | 2510(W)*1665(D)*2090(H)mm  | 
真空腔體尺寸  | 1340(W)*1570(D)*1240(H)mm  | 
電極有效尺寸  | 25"*44"  | 
輸 出 功 率  | 10KW  | 
輸出頻率  | 40KHz  | 
電 力  | 380VAC/100A/3PH/50Hz  | 
可加載氣體  | 四種 (O2,N2,CF4,H2)  | 
溫度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)  | |
冰水機(jī)/Chiller  | |
真空泵浦  | |
臺(tái)車  |